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　　PVD前清洗方法大全

　　清洗方法：超聲波清洗法

　　清洗手段：采用純水、中性洗滌劑、異丙醇液體甲基睪丸酮等洗滌介質

　　清洗過程：本法作為擦洗清洗后的處理工藝清除油脂污物，其過程是光用中性洗滌劑逆行擦洗，然后用純水超聲波清洗15分鐘。之后純水沖洗。再用異丙醇超聲波清洗15分鐘，之后異丙醇清洗，最后用純水超聲波清洗后純水沖洗。然后經氮氣吹風機吹干。

　　清洗方法：離子轟擊清洗法

　　清洗目的：去除表面污物和吸附物

　　清洗手段：采用離子轟擊

　　清洗過程：基片置于10~1000Pa的真空室中施加0.5~1KV高壓產生低能量的輝光放電后使加速的正離子轟擊基片表面。

　　清洗方法：烘烤清洗法

　　清洗目的：去除水分子

　　清洗手段：采用加熱使基片升溫

　　清洗過程：在高真空中將基片加熱到200℃后去除基片上殘余的清洗液及水分。也可以在大氣下加熱到300-500℃高溫，加熱時間在30-60分鐘。

　　清洗方法：蒸汽清洗法

　　清洗目的：去除油脂等碳氫化合物

　　清洗手段：采用甲基睪丸丙酮、異丙烯、三氯乙烯等蒸汽

　　清洗過程：先進行擦洗清洗或超聲波清洗后再用此法。其過程是將基片放在沸騰的甲基丸酮、異丙烯或三氯乙烯蒸汽中使附著的油脂溶解。

　　清洗方法：紫外線和臭氧清洗法

　　清洗目的：去除動脂等有機物

　　清洗手段：采用紫外線和臭氧的物理化學作用

　　清洗過程：本法是作為上述各種方法的后處理工藝來使用，其過程是將基片置放在低壓紫外線輻照器和臭氧發生器下面用紫外線向臭氧照射幾十秒，紫外線強度在基片為5mm處為1.6mw/cm2，臭氧發生器距基片約為6cm.

　　鍍前處理方法：有機溶劑去油法

　　清洗目的：去油

　　工藝過程式配方：三氯乙烯、三氯三氟乙烷、二氯二氟乙烷、汽油、丙酮、四氯化碳溶制等溶液。去油規程是：汽油擦去零件表面油脂，放入溶液缸內浸洗3-10分鐘，再放三氯乙烯槽用超聲波去油5-10分鐘。

　　備注：三氯乙烯去油效果最好，但毒性大，用時應注意通風。鋁、鎂零件等用三氯乙烯。

　　鍍前處理方法：汽油、丙酮聯合去油法

　　清洗目的：去油

　　工藝過程式配方：先對零件表面用汽油浸泡的棉紗擦洗，或在汽油內進行超聲波清洗12-20分鐘，汽油除油后再用丙酮除油，方法如上。

　　鍍前處理方法：堿溶液化學去油法

　　清洗目的：利用浮化作用去掉金屬表面上的礦物油

　　工藝過程式配方：可在海鷗洗凈劑與水配比為1:10的溶液中煮沸10-15分鐘，或用超聲波振動20-30分鐘去油。

　　鍍前處理方法：乳化去油法

　　清洗目的：去除金屬上粘附的潤滑油脂

　　工藝工程式配方：配方為：O·P乳化劑：5-8g/l

　　水玻璃：50-60g/l

　　105號洗滌劑：5-10g/l

　　焦磷酸鈉：3-15g/l

　　將焦磷酸鈉放入油槽攪拌均勻，按規定量放入O·P乳化劑、水玻璃和105號洗滌劑，不斷攪拌注入適量水，保持溫度30℃左右即可。

　　鍍前處理方法：電化學去油法(即電解去油法)

　　清洗目的：去油

　　工藝過程式配方：以被去油零件為一個電極(常用陰極)加上直流電壓，電解液為10-20%的NaOH或純堿，工作溫度為30-80℃

　　鍍前處理方法：金屬零件去污法

　　清洗目的：去除零件表面的氧化物、毛刺、疏松結構

　　工藝過程式配方：用一定流速的氧化鎂細粉和水的混合物向金屬零件表面噴射，也可用滾筒內加磨料(如金剛細沙、木屑、棉籽皮等)進行拋磨。

　　鍍前處理方法：金屬零件化學清洗法

　　清洗目的：去掉表面氧化物氧化膜的各種污物

　　工藝過程式配方：一般是先按上法去油，再在化學清洗液中浸洗，用自來水沖洗5-15分鐘，再浸入2-5%的氨水溶液中和，再用自來水沖洗后，去離子水浸洗兩次，最后用無水乙醇浸泡脫水，再用80-100℃干燥箱烘干或熱風吹干。

　　備注：工業上應用時，可用氟利昂代替無水乙醇。

　　鍍前處理方法：刀具鍍TiN的鍍前處理法

　　清洗目的：去油、去污、清楚表面疏松組織及毛刺脫水等

　　工藝過程式配方：三氯乙烯浸泡3分鐘去油，帶有蒸汽的三氯乙烯浸泡和蒸汽浴3分鐘，50℃堿性金屬清洗機超聲波清洗3分鐘，25℃去離子水浸泡，可流動水沖洗及超聲波液處理，氟利昂113浸泡3分鐘并附以手動噴槍噴射F113處理過程應在良好通風的系統中進行。

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